CVD氣相沉積係統
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  • 等離子增強CVD係統 等離子增強CVD係統由等離子發生器,三溫區管式爐、單溫區管式爐、射頻電源、真空係統組成。等離子增強CVD係統為了使化學反...
  • 1500℃單溫區3路質量流量計... 1500℃單溫區3路質量流量計高真空CVD係統由1500℃單溫區管式爐、三路質量流量計和高真空分子泵組組成。管式爐由精密...
  • 1500℃單溫區3路質量供氣低... 1500℃單溫區3路質量供氣低真空CVD係統由1500℃單溫區管式爐、三路質量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控...
  • 1500℃單溫區3路浮子供氣高... 1500℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD係統由1500℃單溫區管式爐、三路浮子流量計和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控...
  • 1500℃單溫區3路浮子供氣低... 1500℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD係統由1500℃單溫區管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控...
  • 1200℃三溫區3路質量供氣高... 1200℃三溫區3路質量供氣高真空CVD係統由三溫區管式爐、三路質量流量計和高真空分子泵組組成。管式爐三個溫區分別由精密...
  • 1200℃三溫區3路質量供氣低... 1200℃三溫區3路質量供氣低真空CVD係統由三溫區管式爐、三路質量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐三個溫區分別由精密...
  • 1200℃雙溫區3路質量供氣高... 1200℃雙溫區3路質量供氣高真空CVD係統由雙溫區管式爐、三路質量流量計和高真空分子泵組組成。管式爐兩個溫區分別由精密...
  • 1200℃雙溫區3路質量供氣低... 1200℃雙溫區3路質量供氣低真空CVD係統由雙溫區管式爐、三路質量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐兩個溫區分別由精密...
  • 1200℃雙溫區3路浮子供氣高... 1200℃雙溫區3路浮子供氣高真空CVD係統由雙溫區管式爐和三路浮子流量計組成。管式爐兩個溫區分別由精密控溫儀表獨立控溫...
  • 1200℃雙溫區3路浮子供氣低... 1200℃雙溫區3路浮子供氣低真空CVD係統由雙溫區管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐兩個溫區分別由精密...
  • 1200℃三溫區3路浮子供氣高... 1200℃三溫區3路浮子供氣高真空CVD係統由三溫區管式爐、三路浮子流量計和高真空分子泵組組成。管式爐三個溫區分別由精密...
  • 1200℃三溫區3路浮子供氣低... 1200℃三溫區3路浮子供氣低真空CVD係統由三溫區管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐三個溫區分別由精密...
  • 1700℃兩路浮子供氣氫氣還原... 該管式爐可以用於抽真空和通氣氛,所以又叫真空管式爐和氣氛管式爐。爐管材質采用高純氧化鋁,*高可在1650℃的高溫工作。為...
  • 1200℃三路供氣低真空度旋轉... 1200℃三路供氣低真空度旋轉CVD係統采用高純石英製作爐管。旋轉裝置為風冷法蘭,摩擦傳動,傾角(0-15°)任意可調。...
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