產品詳情
  • 產品名稱:氣體質量流量計

  • 產品型號:CY-S48
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
氣體質量流量計主要用於對氣體的質量流量進行精密測量和控製。廣泛用於石油化工、冶金、製藥等領域;比如:擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣係統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維製造設備中。
詳情介紹:

氣體質量流量計全稱為質量流量控製器,英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC),主要由:流量傳感器、流量調節閥、放大控製電路和分流器控製通道等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。質量流量計主要用於對氣體的質量流量進行精密測量和控製。廣泛用於石油化工、冶金、製藥等領域;比如:擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣係統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維製造設備中。其主要特點:

 1、可以任意角度安裝

 2、良好的線性——多段線性補償

 3、快速的響應速度,穩定度高,重複性好。

 4、電磁閥使用壽命≥100萬次

 5、對零點漂移有效的控製

 6、傳感器、分流器、精密元器件日本進口

產品名稱

氣體質量流量計

流量範圍

(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

調節閥類型

電磁調節閥

調節閥靜止狀態

常閉

安裝角度

任意

流量控製範圍

2%~100%

流量測量範圍

0~100%

響應時間

2s(T98,設定值的±2% F.S.)

工作環境溫度

5℃~50℃

精度保證溫度

15℃~35℃

精度

±1.0%F.S.

線性精度

±0.5%F.S.

重複性

±0.2%F.S.

工作壓差

~5L/min (50~300)kPa(D)
5L/min~10L/min (100~300)kPa(D) 
30L/min~50L/min (150~300)kPa(D)

耐壓

3MPa

泄漏率

1×10-8 Pa•m3/s (He)

接觸氣體材料

316L,PTFE,Viton氟橡膠

管路接頭

Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″

供電電源

±15VDC(±5%)  +15V<100mA,-15V<150mA

+24VDC(寬電壓+11~+25V),
<250mA(+24Vdc供電時)

設定信號

(0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ

4~20mA;(可定製:1~5V或0~5V)

流量輸出信號

(0~5)VDC 負載能力≤3mA

電氣接頭

D-SUB15,D-SUB9

重量(kg)

0.9