產品詳情
  • 產品名稱:1200℃三通道CVD係統

  • 產品型號:CY-O1200-80MPECVD-3Z
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
該套CVD係統主要由:材料加熱、真空獲取、氣體測量和等離子發生器四大部分構成。可以滿足日常的大多數CVD實驗和各種科研要求。該CVD係統是材料製備過程中的理想之選。
詳情介紹:

一體式CVD係統設計緊湊,使用方便。特別是豐富的圖文界麵,即使您是首次操作,該係統也能順利引導您很快掌握該CVD係統的使用和操作,您根本無需專業學習,為您節省大量的科研時間,真正做到事倍功半!

產品特點:

1、豐富的圖文信息:全尺寸液晶圖文界麵

2、係統高度集成:各個部分均由軟件協同進行數據采集、交換、處理、輸出

3、可使實驗步驟程序化、自動化

主要技術參數:

工作電壓:AC220/AC110V   

工作頻率:50Hz/60hz

工作溫度:25℃~1100

測量精度:0.1

控溫精度:±1℃

加熱區長:400mm

恒溫區長:200mm

射頻頻率:13.56MHz

射頻功率:0500W(可調節)

匹配模式:自動匹配

氣體通道:3通道

氣體測量:質量流量計

量程範圍:0~500SCCM

真空設備:分子泵組

真空測量:複合真空計