產品詳情
  • 產品名稱:兩通道CVD係統

  • 產品型號:
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
本CVD係統帶水冷法蘭雙路流量計並配有雙極旋片泵、水冷機、數字真空計且該CVD係統可抽真空、通氣氛用於各種CVD實驗。
詳情介紹:

本CVD係統帶水冷法蘭雙路流量計並配有雙極旋片泵、水冷機、數字真空計且該CVD係統可抽真空、通氣氛用於各種CVD實驗。

主要技術參數:

1、真空管式爐


工作電壓:AC220/AC110V   

工作頻率:50Hz/60hz

工作溫度:25℃~1100℃

測量精度:0.1℃

控溫精度:±1℃

加熱速率:建議10℃/min

控溫模式:可編程智能PID

曲線段數:30段

預存曲線:100條

爐膛長度:440mm

恒溫區長:200mm

數據接口:USB

2、混氣係統

測量設備:質量流量控製器

測量量程:500SCCM

氣體通道:兩通道

連接管道:304不鏽鋼管

接口模式:6.35卡套接頭

氣體緩衝:不鏽鋼緩衝