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  • 產品名稱:三靶等離子濺射鍍膜儀

  • 產品型號:CY—VTC16—3HD
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
這款三靶等離子鍍膜儀是我公司研發的實驗室用小型鍍膜儀(直流普通型),可節省空間;采用了觸摸屏模式的控製麵板,操作更加簡單便捷,放置樣品的直徑為50mm,加熱溫度可達500℃。CY-VTC16-3HD三靶等離子鍍膜儀可濺射Au、Ag、Cu等多種靶材,並且樣品台可以旋轉,能夠一次在同一樣品上塗覆三層薄膜。
詳情介紹:

三靶等離子鍍膜儀CY-VTC16-3HD的特點 

 1:PLC觸摸屏控製麵板,7英寸觸摸屏,PID控溫方式。

2:真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度均可控製。

3:可以通過KF25快接法蘭與真空泵、不鏽鋼波紋管連接。

4:此款等離子濺射鍍膜儀已通過CE認證。

產品參數

產品型號

CY-VTC16-3HD

外形尺寸

360×350×360mm

重量

50kg

電源

220V 50Hz

輸入功率

2000W(含真空泵)

輸出電壓

1600V DC

輸出電流

50mA(Max電流)

鍍膜腔尺寸

Φ160×120mm

樣品台尺寸

Φ50mm(可選購加熱型樣品台,溫度可高達500℃,*長濺射時間不可超過5分鍾)

真空泵

120L/M旋片式真空泵

進氣口

裝有精密可調針閥,得以方便的調節進氣量

靶材尺寸

Φ47mm,厚度0.5~3mm

靶材材質

可選AuAgPtCrNi

可選配件

1KF25快接法蘭

2:不鏽鋼波紋管(600mm

3:旋片式真空泵

4PtAgZn等多種高純度金屬靶材

5:加熱樣品台

包裝

三合板木質包裝