產品詳情
  • 產品名稱:等離子增強型CVD係統

  • 產品型號:CY-O1200-50IS-PECVD
  • 產品廠商:发彩网科儀
  • 產品文檔:
你添加了1件商品 查看購物車
簡單介紹:
CY-O1200-50IS-PECVD是一款等離子增強型CVD係統。此係統由150W射頻電源、單溫區管式爐、3通道質子流量計控製係統、性能優異的真空泵組成。
詳情介紹:

○ 產品介紹


CY-O1200-50IS-PECVD是一款等離子增強CVD係統。此係統由150W射頻電源、溫區管式爐3通道質子流量計控製係統、性能優異的真空泵組成。


○ 技術參數

結構特點

 150W射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度

   3通道質子流量計控製係統可以對氣體的輸送進行**的調控 

工作電源

  AC208-220V,50/60Hz

 總功率:4KW

溫區管式

  *高溫度:1100ºC(< 2h) 連續工作溫度:1000℃

  PID溫度控製器以及30段可編程溫控係統 

 輸入功率:220V,單相,功率:1.5KW

 加熱區長度:200mm溫區:100mm 

 爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管 

等離子射頻電源

 輸出功率:0-150W可調(穩定性:±1%

 射頻頻率:13.56MHz(穩定性:±0.005%)

 *大反射功率:150W

  匹配:自動匹配

 射頻輸出端口:50ΩN

 噪音:<50dB

 冷卻: 空氣冷卻

 電源: 220VAC, 50/60Hz 

石英管

 高純石英管

 尺寸:φ50mm*1200mm L 

密封法蘭  

 一對不鏽鋼快接法蘭(法蘭上安裝有KF25真空接頭)

真空泵(該部分為選配,單獨計費)

 雙級真空泵 

 KF16卡箍及波紋管用於連接管式爐與真空泵 

3通道質子流量計控製係統(該部分為選配,單獨計費)

 4通道質子流量計控製係統可實現氣體流量的**控製(**度:±0.02% 

 流量範圍: 

一路: 0~100 SCCM 

二路: 0~200 SCCM 

三路: 1~200 SCCM 

 電壓:220V AC 50/60Hz

 氣體進出口配件:直徑6.35mm不鏽鋼管

 不鏽鋼針閥用於手動控製氣體進出

尺寸和重量

  1400mm L x 600mm W x 1240mm H

  淨重:90kg  

質保期

 一年質保期,終生維護(石英管、O型密封圈、加熱元件等耗材除外)

質量認證

  CE認證 

使用注意事項

 爐管內氣壓不可高於0.02MPa 

 由於氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥 

 當爐體溫度高於1000℃時,爐管內不可處於真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 

 進入爐管的氣體流量需小於200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的衝擊

  石英管的長時間使用溫度<1100℃

  對於樣品加熱的實驗,使用時不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大於0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生 


○ 免責聲明