產品詳情
  • 產品名稱:二路質量流量計

  • 產品型號:CY-2Z
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
產品特點:1.選擇多種氣體方式;2.304不鏽鋼管芯,耐腐蝕;3.不鏽鋼雙卡快速接頭,連接方便,無泄漏。
詳情介紹:


○ 適用範圍
1.半導體製造業
2.真空鍍膜設備
3.特殊材料表麵處理
4.燃氣控製
5.泄漏檢測係統
6.環境檢測分析設備
7.化學,石化,冶金,光纖等


○ 產品特點
1.選擇多種氣體方式
2.304不鏽鋼管芯,耐腐蝕
3.不鏽鋼雙卡快速接頭,連接方便,無泄漏


○ 技術參數

功能

兩路質量流量計

質子流量控製器

工作溫度:5~45 ºC
*大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重複精度: ±0.2%F.S.
流量範圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
注意:其他流量範圍的可定製,需額外費用

輸入電源

AC 220V/50Hz單相

功率

150W

機械壓力表

有一機械壓力表安裝於前麵板上,與混氣罐相連接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針閥

316 不鏽鋼

通氣管道

內部連接管道為1/4”不鏽鋼管 

外部通氣管道為1/4”聚四氟管 

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

316不鏽鋼針閥 

Φ1/4” 不鏽鋼管

外形尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

質量認證

CE認證

質保期

一年質保期,終身維護