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  • 產品名稱:大功率直流磁控濺射鍍膜儀

  • 產品型號:CY-HM
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
大功率直流磁控濺射鍍膜儀是一款高功率台式磁控等離子濺射鍍膜機 ,帶有一個水冷2英寸靶頭,冷水機和可旋轉樣品架。大功率直流磁控濺射鍍膜儀設計用於塗覆直徑達4英寸的所有金屬薄膜, 包括Zn、Al、Ti和碳光膜,價格合理。包含一個Al 目標以供立即使用。
詳情介紹:

大功率直流磁控濺射鍍膜儀產品內容:

大功率直流磁控濺射鍍膜儀包含一個2英寸水冷靶頭和可旋轉樣品台。水冷靶頭使鍍膜後的樣品表麵不會因鍍膜溫度過高而變形,甚至損壞樣品;樣品台可旋轉,可以使樣品邊旋轉邊鍍膜使鍍膜後的樣品表麵膜後均勻。設備外形小巧,性價比高,是製作各種金屬薄膜理想的鍍膜設備,可選配各種金屬靶材和真空泵搭配設備使用。

大功率直流磁控濺射鍍膜儀技術規格:

輸入電壓

220 C 50/60Hz ,使用1000 W變壓器(15 A保險絲)可獲得110 V電源 

輸出功率

  • 1600 VDC
  • 250 W
  • 150 mA max.
  • 內置過流保護(>150 mA)

樣本室

  • 石英玻璃管, 165 mm外徑×150 mm內徑×250 mm高度

濺射頭和樣品台

  • 包括2"帶水冷套的柔性磁控濺射頭。
  • 一個直徑50 mm的不鏽鋼樣品台可在0-5 RPM範圍內旋轉。
  • 一個手動操作的遮板用於保護靶。
  • 濺射頭支架可用於在非操作時保持濺射頭。
  • 濺射頭和樣品台之間的距離可在60-100mm之間調節。
  • Max塗層麵積: 4"直徑max. 
  • 一個 空氣冷循環冷水機組10 L / min流量,包括冷卻濺射頭。

控製麵板

  • 6“彩色觸摸屏控製麵板,PLC集成,操作簡便
  • 所有參數監視和控製的一個麵板:真空,電流。

極限真空壓力

  • 內置KF25真空端口
  • 該係統需要帶有壓力調節器的Ar氣罐。(不包含)
  • 用於AuAgPtCuMo靶的Vane真空泵(不包括) <1.0E-2 Torr (對空氣不敏感)
  • 渦輪分子泵(不包括) <1.0E-5 Torr   用於AlMgLiLrTiZn靶(對空氣敏感)
  • 通過連續抽吸和烘烤,zui低真空可達到<4.0E-6

氣氛

  • 安裝一個針閥,允許Ar氣體入口實現更好的等離子塗層
  • 該係統需要帶有壓力調節器的Ar氣罐(不包括在內)

  • 包括一個2英寸銅靶用於測試,目標尺寸:2英寸直徑×2.5mm
  • 它還可以塗覆AgAlCrNiPtTiSnLiMg 等幾乎所有種類的金屬材料。  
  • 警告:本機可以塗覆鋁,鉻或鎳靶 ,但在使用前請查看推薦塗層方法。
  • 請使用RF等離子體磁控濺射塗覆氧化鋁

整體尺寸

L 440 mm×W 330 mm × H 290 mm

淨重

20 kg

售後服務

貨物發出後,CYKY提供一年免費售後服務,服務方式限於電話指導、視頻指導、郵件指導、配件郵寄等遠程技術支持。如需要派人現場服務,客戶需要支付服務人員差旅費和出差期間的工資。

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