產品詳情
所在位置: 首頁> 產品目錄> 鍍膜儀>
  • 產品名稱:非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀

  • 產品型號:CY-NC
  • 產品廠商:发彩网科儀
  • 產品文檔:
你添加了1件商品 查看購物車
簡單介紹:
非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一款緊湊型2英寸單頭射頻等離子磁控濺射係統,塗有非金屬,主要是氧化物薄膜。非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀將所有元件集成到一層立式機櫃中,包括射頻電源、石英真空室、真空泵、再循環冷水機組和薄膜厚度監控器等。
詳情介紹:

非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀產品用途

非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一種優良且具有成本效益的塗膜機,用於研發非導電材料薄膜

非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀技術規格:

輸入功率

  • 220 VAC, 50/60Hz, 單相
  • 800 W  (包括泵)
  • 如果電壓為110 VAC, 則需要1000 W 變壓器

電源

一個13.5 MHz, 300 W 具有自動匹配功能的射頻發生器內置於機櫃中並連接到 2" 濺射頭

磁控濺射頭

  • 包括一個帶有水冷套的2"磁控濺射頭,並通過快速夾具插入石英腔
  • 一個擋板安裝在法蘭上(手動操作)
  • 冷卻磁控濺射頭需要一台16/分鍾的數控再循環冷水機組(不包括)

濺射靶

  • 靶尺寸要求: 2" 直徑×1/4"厚度Max
  • 包括一個SiO2 靶用於演示測試

真空室

  • 真空室:外徑160 mm×內徑150 mm×250 mm高度。由高純度石英製成
  • 密封法蘭:直徑165毫米。由鋁製成,帶有高溫矽膠O形圈
  • 包括不鏽鋼網罩,用於100%屏蔽來自腔室的RF輻射
  • 真空度:1.0E-2托,配備雙級機械泵,1.0E-5托,帶可選渦輪泵

樣品架

  • 樣品架可旋轉且可加熱,由帶有不鏽鋼蓋的陶瓷加熱器製成。
  • 樣品架尺寸:50毫米直徑。zui大2英寸晶圓
  • 旋轉速度可調:1 - 10 rpm,均勻塗層
  • 通過數字溫度控製器,支架溫度可在RT500 Max範圍內調節,精度為+/- 1.0℃。

真空泵站

  • 內置KF25真空端口,用於連接真空泵。
  • 需要一個帶KF25適配器的真空泵,但不包括。
  • 真空度:雙級機械泵1.0E-2托,渦輪泵1.0E-5托。

整體尺寸

650 mm L×650 mm W×1630 mm H             

淨重

70 kg

售後服務

貨物發出後,CYKY提供一年免費售後服務,服務方式限於電話指導、視頻指導、郵件指導、配件郵寄等遠程技術支持。如需要派人現場服務,客戶需要支付服務人員差旅費和出差期間的工資。

免責聲明:本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等),僅供參考。可能由於更新不及時,會造成所述內容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯係確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,本公司會不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知。