產品詳情
  • 產品名稱:緊湊型等離子清洗機

  • 產品型號:CY-CP
  • 產品廠商:发彩网科儀
  • 產品文檔:
你添加了1件商品 查看購物車
簡單介紹:
緊湊型等離子清洗機帶有數字真空傳感器和顯示器,以及鉸鏈門。適用於各種氣體對2英寸以下晶圓片的納米級有機汙染物進行清洗和去除。在高射頻功率下,有機去除率zui高約為10nm /min。緊湊型等離子清洗機是一種較好的單晶基材塗裝前預清潔的工具,可達到較好的塗膜質量。
詳情介紹:

緊湊型等離子清洗機主要特點:

1.使用各種氣體清洗和去除晶片上的納米級有機汙染物,至多可容納2"。
2.塗層前預清洗單晶基板的優良工具,可獲得更好的薄膜質量。
3.鉸鏈式門,便於樣品裝載。
4.3"直徑石英腔室,適用於清潔2”晶圓,可選配石英舟。
5.石英室內的可移動石英管易於清潔和更換。

緊湊型等離子清洗機技術參數:

射頻功率

射頻功率(線圈上施加的高壓和高頻電流)可在三個級別調節:

低設置

680V 

10 mA 

7 W

中等設置

700V 

15 mA 

11 W

高設置

720V 

25 mA 

18 W

等離子室

•3"直徑×6.5"長的石英室

•700 mL容量

•高純度石英室比玻璃具有更長的使用壽命

真空計和顯示器

•Stinger壓力表安裝在鉸鏈門上。

•1/8”NPT針閥,可定性控製氣體流量和腔室壓力。

•1/8”NPT三通閥,可快速切換出氣體,隔離腔室和排氣。

真空泵

包括一個雙級旋片式真空泵

輸入功率

AC 208 - 240V, 50/60Hz,單相

工作氣體

•可以選擇許多惰性氣體進行等離子體清潔,例如N2,Ar,空氣和混合氣體取決於將要處理的材料類型。

•可以使用<5%H2混合惰性氣體

•等離子清潔器不得使用易燃氣體。

整體尺寸


淨重

40磅

保證

一年有限保修,終身支持(耐熱玻璃室無保修)

免責聲明:本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等),僅供參考。可能由於更新不及時,會造成所述內容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯係確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,本公司會不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知,請您見諒。