產品詳情
  • 產品名稱:8.5"實驗室等離子清洗機

  • 產品型號:CY-LP
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
8.5"實驗室等離子清洗機是一種等離子體清洗劑或蝕刻裝置,直徑8.5英寸x 14英寸長石英腔和0 - 80W可變射頻功率。8.5"實驗室等離子清洗機采用空氣、氧氣或氬氣等離子體對基體或晶圓片表麵的納米級有機汙染物進行清洗和去除。在高射頻功率下,有機去除率zui高可達20nm /min左右。8.5"實驗室等離子清洗機是在外延薄膜沉積前對單晶基體進行預清潔以獲得更好的質量的一種極好的工具。
詳情介紹:

8.5"實驗室等離子清洗機配有一個直連式雙旋真空泵,可對腔體進行抽真空,同時通入氬氣等保護氣體,適用於對易氧化的物品的清洗。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和汙染物,同時也可改變物體表麵的性質(如親水和疏水性等),對於基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理,將對生長具有顯著的作用。

8.5"實驗室等離子清洗機技術參數:

輸入功率

•     AC 220V , 50/60 Hz,

•    射頻功率:80 W Max.(標準) 

•    真空泵:正常550W,啟動750W

•    總功率:830W max.

•    工作電流≤3A

射頻功率

•    射頻功率可在0-80W範圍內調節

•    射頻:13,56 MH

•    可選:可根據要求提供300 W射頻電源,需額外收費

等離子室

•  8.5" O.D×8.2" I.D×14" L高純度石英室

• 體積: 12 L

• 鉸鏈式前法蘭由鋁製成

•  2.3”直徑(60mm)石英窗口,便於觀察

• 完全屏蔽RF輻射,零RF泄漏

控製麵板

•  6”彩色觸摸屏,可自動控製所有參數,用於等離子清潔,如真空度,氣體流速,RF功率水平和清潔時間。

• 內置一個通道質量流量計(0-500ml /分鍾),控製氣體流量+/- 0.5 ml / m

真空泵和閥門

• 包含排氣過濾器,KF25D適配器和夾具的240 L / m重型旋片式真空泵可立即使用

• *終總壓力為50 mTorr

惰性氣體

• 可以選擇許多惰性氣體進行等離子體清潔,如N2,Ar,空氣和混合氣體,取決於將要處理的材料類型。(不包括在包裝內)

• 等離子清潔器不得使用易燃氣體

總體尺寸

620 L×600 W×600 H, mm

保證

一年有限保修,終身支持(耐熱玻璃室無保修)

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