產品詳情
  • 產品名稱:大氣等離子表麵處理儀

  • 產品型號:CY-AP
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
大氣等離子表麵處理儀將大氣等離子束與二維自動工作台相結合,允許等離子束根據程序設置和表麵塗層或處理一致且均勻地掃描樣品表麵。大氣等離子表麵處理儀係統由射頻發生器,柔性輸送管,等離子束頭,XY工作台,真空吸盤樣品架和可編程控製箱組成。
詳情介紹:

大氣等離子表麵處理儀噴射的離子束流能在較低的溫度和沒有真空條件的環境下,迅速活化和清理材料(如單晶片、光學元件、塑料等)表麵雜質。 本機是為獲得高質量的外延薄膜或光學塗層,預先進行表麵處理的理想選擇。

大氣等離子表麵處理儀技術參數:

等離子輸入功率

208 V - 240VAC, 50/60 Hz, < 1000W

射頻發生器

輸出頻率: 20-23kHz,25KV 

等離子束頭:包括兩個等離子束頭:圓頭: 10-12mm;方頭: 15-18mm


輸入氣體壓力和工作氣體

•     40 PSI min.(0.055 Mpa)

•    空氣, N2, Ar, He或任何混合氣體(無易燃易爆氣體)

等離子工作壓力

7- 10 PSI


工作環境

•    溫度: < 42℃

•    濕度: ≤ 40℃RH

•    沒有易燃氣體

樣品台和控製器

•  X-Y二維由步進電機驅動,由SBC控製箱控製。

•  Z軸可通過手動調節

• 控製盒有LCD顯示,掃描程序可通過功能鍵設置

•  Max.掃描區域:8"×9"

• 在X-Y樣品架上安裝了一個4"直徑的真空塊,可以將樣品架上直徑為6"的薄晶片牢固地浸泡在樣品架上

• 包含一個真空泵,用於連接真空塊

• 整個係統放置在重型移動推車(600×600×800Lmm)上

尺寸和淨重

•    塗層階段尺寸:560mm L×483mm寬×609mm高(支撐框架尺寸:420mm L×305mm寬×457mm高)

•    等離子發生器尺寸:406mm L×508mm W×230mm H.

•    移動控製箱尺寸:330mm L×305mm W×152mm H.

•    淨重:55公斤

保修和證書

•    一年有限保修,終身支持

•     CE認證

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