產品詳情
  • 產品名稱:台式紫外線臭氧清洗機

  • 產品型號:CY-DU
  • 產品廠商:发彩网科儀
  • 產品文檔:
你添加了1件商品 查看購物車
簡單介紹:
台式紫外線臭氧清洗機是一種台式紫外線(UV)臭氧清潔劑,帶有基板加熱器,用於清潔所有類型的基板,以低成本實現更好的薄膜質量。此外,台式紫外線臭氧清洗機是去除和剝離光刻膠,改善表麵潤濕性,清潔SEM和TEM樣品,UV聚合物活化,組裝等的理想工具。
詳情介紹:

紫外線臭氧清潔劑已被證明對非酸性,幹燥,非破壞性原子清洗和使用強烈的185 nm和254 nm紫外光去除有機汙染物非常有效。在空氣和室溫下,185線產生臭氧,而254線激發表麵上的有機分子。這種組合驅動有機汙染物的快速破壞和抽取。

台式紫外線臭氧清洗機技術參數:

輸入功率

AC 220V,50/60 Hz,功率350 W Max.

環境要求

•    隻能室內使用;海拔高度可達5,500英尺;

•    溫度範圍41-104華氏度;

•    zui高相對濕度80%,高達87華氏度線性降低至50%相對濕度,華氏104度;

•    主電源波動不超過額定電壓的10%;過壓類別II;

•    汙染等級2;臭氧水平(環境)測量<45 ppb。

紫外燈

•    固體金屬雙波汞燈

•    波長:253.7nm和184.9nm

•    紫外燈使用壽命:5000小時

•    紫外線照射麵積:200×200 mm

•    可以清洗直徑達12"的晶圓

腔室和樣品台

•    不鏽鋼表殼

•    滑動抽屜,便於樣品裝載

•    樣品台麵積為310 mm×320 mm(12"×12")

•    臭氧通風裝置內置於腔室內

•    定時器的範圍為0.01秒至99.9小時。

可加熱的樣品台

•    樣品台可通過精密溫度控製器加熱至150℃

•    溫度控製器是20段可編程,精度為+/- 2℃.

•    溫度均勻性:直徑6英寸範圍內<10℃;直徑12英寸內<20℃

•    加熱速度:zui高15℃

•    樣品台和燈之間的距離可在20mm至40mm之間調節。

通風口

•     3英寸直徑排氣口內置於機器後部

•    包括一個10英尺的柔性管和一個通氣夾,用於將清潔器排氣管連接到實驗室通風係統。

尺寸

510mm×350mm×400mm (W×H×D)

淨重

62 lbs

保修

一年有限保修,終身支持。易碎的紫外燈不在保修範圍內

應用

•    清潔矽晶片,砷化镓晶圓,石英和ITO玻璃

•    清潔所有類型的氧化物單晶襯底,如藍寶石,STO和LAO。

•    清潔金和鉑表麵

•    輕金屬材料的氧化表麵

•    激活聚合物和交聯聚合物

•    紫外光片光刻膠/光刻膠

•    UV清潔生產線LED顯示屏

免責聲明:本站產品介紹內容(包括產品圖片、產品描述、技術參數等),僅供參考。可能由於更新不及時,會造成所述內容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯係確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,本公司會不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知,請您見諒。