產品詳情
  • 產品名稱:緊湊型紫外線臭氧清洗機

  • 產品型號:CY-CU
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
緊湊型紫外線臭氧清洗機用於清潔所有類型的晶體基板,以低成本實現更好的薄膜質量。此外,緊湊型紫外線臭氧清洗機是去除和剝離光刻膠、改善表麵潤濕性、清潔SEM和TEM樣品、UV聚合物活化、組裝等的理想工具。
詳情介紹:

緊湊型紫外線臭氧清洗機采用不需要任何溶劑的幹式清洗技術,對清洗表麵沒有損傷。采用大功率低壓石英汞燈,產生波長185nm和254nm的紫外線,185nm的光可以將氧分子O2轉變成活性的臭氧分子O3,254nm的光同時激發清洗表麵的有機分子,使其更容易被臭氧分子吸收並分解。由於臭氧分子存在時間短,且同時也被254nm的光分解,因此可調節樣品台到燈管的距離來優化性能。

緊湊型紫外線臭氧清洗機技術參數:

輸入功率

AC 110V or AC 208~240V( 可選的)

紫外燈

•     固體金屬雙波汞燈

•     紫外燈功率:zui大55W。

•     波長:254nm和185nm

•     紫外燈使用壽命:2500小時

•     紫外線照射麵積:100×100 mm(4”×4”)

•     峰值紫外線強度:4.6毫瓦/平方厘米。

腔室和樣品台

•     外形尺寸:9 1/2”×7 7/8”×6”

•     抽屜尺寸:5 1/4”×5 1/4”×1”

•     抽屜到燈的距離:1 1/16“

•     從基座到燈的距離:5/16“

•     硼矽酸鹽玻璃基座:4”×4”×3/4”

•     18號鋼製底盤和蓋板,粉末塗層

•     總重量:9磅

合規

CE認證

保證

一年有限保修,終身支持(耐熱玻璃室不保修)

環境要求

•    隻在室內使用;海拔高度可達5,562英尺;

•    溫度範圍41-104華氏度;

•    zui高相對濕度80%,高達87 華氏度線性降低至50%相對濕度,華氏104度;

•    主電源波動不超過額定電壓的10%;過壓類別II;

•    汙染等級2;臭氧水平(環境)測量<45 ppb。

Application

•    清潔SPT,AFM尖端和表麵的分子汙染

•    固化UV-粘合劑

•    SAM表麵的紫外光圖案化

•    氧化PDMS

•    蝕刻,圖案,銳化

•    清潔MEMS器件

•    清潔襯底表麵,如Si,Ge,GaAs和所有氧化物晶體襯底

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