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  • 產品名稱:有機無機蒸發鍍膜儀

  • 產品型號:CY-OE
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
有機無機蒸發鍍膜儀采用直線式結構,主要由二個有機材料生長室組成,兩個有機材料生長室之間通過閘板閥聯接,其中一個生長室係統預留與手套箱對接接口,能夠完成二套獨立的製備薄膜係統之間互相傳送基片。有機無機蒸發鍍膜儀的有機材料生長室主要由真空室腔體組件、有機蒸發源、熱阻蒸發舟、樣品傳遞裝置、樣品台、膜厚監測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。
詳情介紹:

有機無機蒸發鍍膜儀設備用途:

有機無機蒸發鍍膜儀用於生長薄膜太陽能電池,EL OEL分子有機電致發光器件薄膜的研究工作。廣泛應用於大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量製備。

有機無機蒸發鍍膜儀技術參數:

真空室

二個D型真空室,尺寸均約為Ø450×H750mm;

兩個真空室的真空係統配置、極限壓力、恢複真空時間、熱阻蒸發舟及電源、膜厚監測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置、樣品台的配置與技術參數指標相同;

真空係統配置

日本進口低溫泵、無油渦旋幹泵與電磁、複合數顯真空測量規與計、閥門等。

極限壓力

≤2.0×10-5Pa

恢複真空時間

40分鍾可達到1×10-4Pa

電動磁力耦合樣品傳遞裝置

真空室1

采用磁力耦合line motion傳遞裝置,采用步進電機驅動,設有遠程手控控製盒,可控製直線前進後退。

有機蒸發源及電源

真空室1

新型0EL升華型蒸發源9支,每支蒸料可裝10CC,室溫-800℃7支,室溫-1000℃2支;蒸發源電源4台。

真空室2

新型0EL升華型蒸發源6支,每支蒸料可裝10CC,室溫-800℃6支;蒸發源電源3台。

熱阻蒸發舟及電源

新型蒸發舟2組(熱阻蒸發舟);

數字式熱阻蒸發電源1台,帶有細調功能(0.1安培);鍍鋁專用盒式蒸發舟:2個;

普通金屬蒸發舟10個;蒸發源擋板2套;

膜厚監測儀

厚度分辨率

不平均:0.0133埃/測量;50個樣品平均:0.002埃/測量

速率分辨率

不平均:0.0133埃/秒;50個樣品平均:0.02埃/秒

精度

0.03HZ/測量,2ppm

速度

每秒測量十次

真空室照明裝置

采用LED外照明方式.避免鍍膜汙染照明燈

烘烤裝置

在真空室外烘烤帶的烘烤方式

樣品台

樣品尺寸

可放置一塊100×100mm或者50×50mm基片

運動方式

可電動上下升降,可旋轉,轉速為0-30轉/分,轉速可調

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