產品詳情
  • 產品名稱:1200℃三溫區三通道混氣CVD係統

  • 產品型號:CY-T1200-TC
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
1200℃三溫區三通道混氣CVD係統由三溫區管式爐和三路浮子流量計組成。管式爐三個溫區分別由精密控溫儀表獨立控溫,通過調節各個溫區的溫度,該管式爐可以在加熱區內形成三段溫度梯度或是形成較長的恒溫區域。1200℃三溫區三通道混氣CVD係統每個溫區均可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控製路管內的氣氛環境。
詳情介紹:

1200℃三溫區三通道混氣CVD係統采用全彩高清觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。係統所配有的三路浮子流量計,可以較為準確的配製出實驗所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計正麵,可以監測氣體壓力及混合槽壓力。

適用於高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

1200℃三溫區三通道混氣CVD係統技術參數:

項目

明細

供電電壓

AC220V50Hz

MAX功率

5KW

加熱溫區

220mm+440mm+220mm

工作溫度

1100℃ 1200℃1h

控溫精度

±1℃

升溫速率

建議≤10℃/min

控溫方式

AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

三溫區獨立控製,帶有過熱和斷偶保護

爐管材質

高純石英

爐管尺寸

φ60mm O.D×1300mm L

氣體通道

三通道質量流量計

氣體量程

A100sccm   B300sccm  C500sccm

係統真空

5~10Pa(如需更高真空度可以選配其他的泵)

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