產品詳情
  • 產品名稱:全自動CVD滑軌爐

  • 產品型號:
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
全自動CVD滑軌爐係統由雙溫區滑軌爐、質子流量控製係統、真空係統三部分組成。雙溫區滑軌爐可移動並可實現快速升降溫;四路質子流量計能夠準確控製係統的供氣;全自動CVD滑軌爐真空泵可實現對管式爐快速抽真空。
詳情介紹:

全自動CVD滑軌爐設備操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環境下,得到快速的降溫速率。

適用於高校、科研院所、工礦企業做石墨烯的生長、高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火,尤其適合需要快速升降溫的CVD試驗。


全自動CVD滑軌爐技術參數:


項目

明細

供電電壓

AC220V50Hz

整機功率

5KW

工作溫度

1100℃

加熱速率

建議10/min

爐管尺寸

O.D.50mm-220mm-220mm(加熱區)-1200mm管長

控溫精度

0.1℃

溫區

雙溫區

混氣係統

4路質子流量計:100sccm1個;200sccm1個;500sccm2

真空泵

雙極旋片真空泵

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