產品詳情
  • 產品名稱:雙溫區管式爐

  • 產品型號:
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
雙溫區管式爐設備由雙溫區管式爐、溫控蒸發器、濕度監測器三部分組成。溫控蒸發器和濕度監測器的組合可以持續產生符合試驗配比要求的水蒸氣,即通過觀察濕度監測器的示數,相應的調節溫控蒸發器的加熱速率即可調節水蒸氣產生速率。雙溫區管式爐若再配合三路浮子流量計即可實現對通入氣體成份和濕度的準確控製,適用於CVD工藝中的液體源和化學前體輸送。
詳情介紹:

該雙溫區真空管式爐不僅可以抽真空,也可以通保護性氣氛。開啟式爐膛結構有利於爐管拆卸和觀察物料裝載,操作簡單。透明石英管腔體可以直觀的看到樣品的燒結狀態。本管式爐爐管水平穿過爐膛,加熱元件呈四周均勻分布,溫場均勻,爐管內部和爐膛之間的內外溫差可控製在3度左右。爐體設計有緩衝上蓋支撐結構讓操作時可安全開啟。

該款雙溫區真空管式爐的組合主要適用於需要控製反應濕度的CVD試驗和反應。

雙溫區管式爐技術參數:

項目

明細

雙溫區管式爐

供電電壓

AC110V;60Hz

工作溫度

1100℃

加熱速率

建議10/min

熱電偶類型

B型熱電偶

爐管尺寸

 φ80OD)×φ74ID)×1000Lmm

爐管材料

高純石英

密封法蘭

帶有1/4英寸的氣體接口和真空接口

加熱溫區

200mm+200mm

溫度控製

1) PID全自動控製加熱速率,冷卻速率以及保溫時間

2) PID控製超溫保護和短偶保護

3) 超溫保護在報警功能使該設備可在無人看管的情況下運行

4) 溫度精度在±1(即顯示的溫度和實際溫度差)

加熱元件

電爐絲

蒸發器

容量

300mL

加熱套工作溫度

250℃

功能

有精密可編程溫度控製器控製;

容器上有兩個SS針閥和一個壓力表

濕度監測器

安裝方式

KF25適配器連接至加工管法蘭

測量範圍

0-100%RH1.5%FS精度,或-60°~+60°DP

測量精度

±0.3°

使用方法

調節蒸發器水內溫度和H2氣體流量以達到所需濕度水平

三路防腐浮子流量計

閥門類型

不鏽鋼針閥

管道正常情況

關閉

氣體方式

3通道

連接尺寸

1/4”

壓力範圍

-0.1~0.15Mpa

管芯材質

304不鏽鋼

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