該雙溫區真空管式爐不僅可以抽真空,也可以通保護性氣氛。開啟式爐膛結構有利於爐管拆卸和觀察物料裝載,操作簡單。透明石英管腔體可以直觀的看到樣品的燒結狀態。本管式爐爐管水平穿過爐膛,加熱元件呈四周均勻分布,溫場均勻,爐管內部和爐膛之間的內外溫差可控製在3度左右。爐體設計有緩衝上蓋支撐結構讓操作時可安全開啟。
該款雙溫區真空管式爐的組合主要適用於需要控製反應濕度的CVD試驗和反應。
雙溫區管式爐技術參數:
項目 |
明細 |
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雙溫區管式爐 |
供電電壓 |
AC110V;60Hz |
工作溫度 |
≤1100℃ |
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加熱速率 |
建議10℃/min |
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熱電偶類型 |
B型熱電偶 |
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爐管尺寸 |
φ80(OD)×φ74(ID)×1000(L)mm |
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爐管材料 |
高純石英 |
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密封法蘭 |
帶有1/4英寸的氣體接口和真空接口 |
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加熱溫區 |
200mm+200mm |
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溫度控製 |
1) PID全自動控製加熱速率,冷卻速率以及保溫時間 2) PID控製超溫保護和短偶保護 3) 超溫保護在報警功能使該設備可在無人看管的情況下運行 4) 溫度精度在±1℃(即顯示的溫度和實際溫度差) |
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加熱元件 |
電爐絲 |
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蒸發器 |
容量 |
300mL |
加熱套工作溫度 |
≤250℃ |
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功能 |
有精密可編程溫度控製器控製; 容器上有兩個SS針閥和一個壓力表 |
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濕度監測器 |
安裝方式 |
KF25適配器連接至加工管法蘭 |
測量範圍 |
0-100%RH,1.5%FS精度,或-60°~+60°DP |
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測量精度 |
±0.3° |
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使用方法 |
調節蒸發器水內溫度和H2氣體流量以達到所需濕度水平 |
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三路防腐浮子流量計 |
閥門類型 |
不鏽鋼針閥 |
管道正常情況 |
關閉 |
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氣體方式 |
3通道 |
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連接尺寸 |
1/4” |
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壓力範圍 |
-0.1~0.15Mpa |
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管芯材質 |
304不鏽鋼 |