產品詳情
  • 產品名稱:小型雙爐體滑道管式爐

  • 產品型號:CY-O1200-50SDM
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
本品是一款小型雙爐體滑道管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,並配有不鏽鋼密封法蘭,儀器zui高溫度可以達到1200℃。小型雙爐體滑道管式爐兩個爐體可在滑軌上滑道,實現對原材料的蒸發/升華,及薄膜沉積。為取得zui快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然後移動爐子到樣品位置。為獲得快速冷卻,可在樣品加熱後移動爐子到另一端,是低成本快速熱處理的理想爐子。
詳情介紹:

小型雙爐體滑道管式爐同時可選擇電動滑軌、質量流量計(MFC)控製的供氣係統和等離子射頻電源來搭建CVD係統。

該設備可用於石墨烯製備、硫化物製備等。

小型雙爐體滑道管式爐技術參數:

產品型號

CY-O1200-50SDM

爐管材質

高純石英

爐管直徑

50mm

爐管長度

1400mm

加熱區長

300mm

恒溫區長

200mm

工作溫度

01100

控溫精度

±1

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

高亮數碼管數字顯示

密封方式

304不鏽鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭,KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

產品型號

CY-3Z

氣體通道

3通道

測量部件

氣體質量流量計

測量量程

A通道:0100SCCM    H2

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。

B通道:0300SCCM    N2

C通道:0500SCCM    Ar

測量精度

±1.0%F.S

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50300KPa

連接管道

304不鏽鋼

控製閥門

304不鏽鋼針閥

接口規格

進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

供電電源

AC:220V 50/60Hz

機械泵

旋片泵

抽氣速率

4L/S   

排氣接口

KF16

真空測量

電阻規

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

抽氣接口

KF16


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