產品詳情
  • 產品名稱:1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD係統

  • 產品型號:CY-O1200-50IT-3F-HV
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD係統由單溫區管式爐、三路浮子流量計和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控製路爐管內的氣氛環境。同時1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD係統管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。
詳情介紹:

1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD係統係統所配有的三路浮子流量計,可以混合1~3路氣體,較為準確的配製出實驗所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計正麵,可以監測氣體壓力及混合槽壓力。

本係統還配有精密分子泵組,可以達到1.0E-3pa級別的真空度,較普通機械泵可以為用戶提供更純淨嚴苛的實驗環境。

適用於高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

技術參數:

1200單溫區3路浮子供氣低真空CVD係統

產品型號

CY-O1200-50IT 

爐管材質

高純石英 

爐管直徑

50mm(可選配60mm80mm100mm 

爐管長度

800mm 

爐膛長度

440mm 

加熱區長

400mm 

恒溫區長

200mm 

工作溫度

01100 

控溫精度

±1 

控溫模式

30段或50段程序控溫 

顯示模式

LCD 

密封方式

304不鏽鋼真空法蘭 

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 

可抽真空

4.4E-3Pa 

供電電源

AC:220V 50/60Hz 

產品型號

CY-3F 

氣體通道

3通道 

測量部件

氣體浮子流量計 

測量量程

A通道:0100ml/min     H2 

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 

B通道:16160ml/min    N2 

C通道:25250ml/min    Ar 

測量精度

±2.0% 

管道耐壓

3MPa 

工作壓差

50300KPa 

連接管道

304不鏽鋼 

控製閥門

304不鏽鋼針閥 

接口規格

進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 

產品型號

CY-GZK103-A 

分子泵

CY-600 

前極泵

旋片泵 

抽氣速率

分子泵:600L/S 

綜合抽氣性能:20分鍾真空度可達:1.0E-3Pa 

旋片泵:1.1L/S 

抽氣接口

KF40 

排氣接口

KF16 

真空測量

複合真空計:電阻規+電離規 

極限真空

1.0E-5Pa 

供電電源

AC:220V 50/60Hz


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