產品詳情
  • 產品名稱:1200℃單溫區3路質量供氣高真空CVD係統

  • 產品型號:CY-O1200-50IT-3Z-HV
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
1200℃單溫區3路質量供氣高真空CVD係統由單溫區管式爐、三路質量流量計和高真空分子泵租組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控製路管內的氣氛環境。同時1200℃單溫區3路質量供氣高真空CVD係統管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。
詳情介紹:

產品介紹:

      1200℃單溫區3路質量供氣高真空CVD係統由單溫區管式爐、三路質量流量計和高真空分子泵租組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控製路管內的氣氛環境。同時1200℃單溫區3路質量供氣高真空CVD係統管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。

       係統所配有的三路質量流量計,精度高可靠性強,可以混合1-3路氣體,操作麵板采用數字顯示,直觀高效,若客戶有特殊需要也可以聯係技術人員定製任意數量的氣路。 


適用範圍:

適用於高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

 

技術參數:

產品型號

CY-O1200-50IT

爐管材質

高純石英

爐管直徑

50mm(可選配60mm80mm100mm

爐管長度

800mm

爐膛長度

440mm

加熱區長

400mm

恒溫區長

200mm

工作溫度

01100

控溫精度

±1

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD

密封方式

304不鏽鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

產品型號

CY-3Z

氣體通道

3通道

測量部件

氣體質量流量計

測量量程

A通道:0100SCCM    H2

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。

B通道:0300SCCM    N2

C通道:0500SCCM    Ar

測量精度

±1.0%F.S

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50300KPa

連接管道

304不鏽鋼

控製閥門

304不鏽鋼針閥

接口規格

進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

供電電源

AC:220V 50/60Hz

產品型號

CY-GZK103-A

分子泵

CY-600

前極泵

旋片泵

抽氣速率

分子泵:600L/S

綜合抽氣性能:20分鍾真空度可達:1.0E-3Pa

旋片泵:1.1L/S

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

真空測量

複合真空計:電阻規+電離規

極限真空

1.0E-5Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz


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