產品詳情
  • 產品名稱:1200℃三溫區3路質量供氣低真空CVD係統

  • 產品型號:CY- O1200-50IIIT-3Z-LV
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
1200℃三溫區3路質量供氣低真空CVD係統由三溫區管式爐、三路質量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐三個溫區分別由精密控溫儀表獨立控溫,通過調節各個溫區的溫度,該管式爐可以在加熱區內形成三段溫度梯度或是形成較長的恒溫區域。每個溫區均可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。1200℃三溫區3路質量供氣低真空CVD係統爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控製爐管內的氣氛環境。
詳情介紹:

1200℃三溫區3路質量供氣低真空CVD係統管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。

係統所配有的三路質量流量計,精度高可靠性強,可以準確混合1~3路氣體,操作麵板采用數字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯係技術人員定製任意數量的氣路。

適用於高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

技術參數:

產品型號

CY- O1200-50IIIT

爐管材質

高純石英

爐管直徑

50mm(可選配60mm80mm100mm

爐管長度

1300mm

爐膛長度

1060mm

加熱區長

300mm+300mm+300mm

工作溫度

01100

控溫精度

±1

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD

密封方式

304不鏽鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

產品型號

CY-3Z

氣體通道

3通道

測量部件

氣體質量流量計

測量量程

A通道:0100SCCM    H2

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。

B通道:0300SCCM    N2

C通道:0500SCCM    Ar

測量精度

±1.0%F.S

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50300KPa

連接管道

304不鏽鋼

控製閥門

304不鏽鋼針閥

接口規格

進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

供電電源

AC:220V 50/60Hz

機械泵

旋片泵

抽氣速率

1.1L/S

排氣接口

KF16

真空測量

電阻規

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

抽氣接口

KF16


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