產品詳情
  • 產品名稱:1500℃單溫區3路質量供氣低真空CVD係統

  • 產品型號:CY-T1500-60IT-3Z-LV
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
1500℃單溫區3路質量供氣低真空CVD係統由1500℃單溫區管式爐、三路質量流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。1500℃單溫區3路質量供氣低真空CVD係統爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控製爐管內的氣氛環境。
詳情介紹:

1500℃單溫區3路質量流量計低真空CVD係統管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。爐管采用高純氧化鋁製成,爐體采用一體式設計,獨特的設計能夠保證係統在1500℃運行穩定安全,加熱元件采用高品質矽碳棒,能夠達到1500℃高溫,若客戶有需求可以定製矽鉬棒加熱元件以達到更高的1700℃高溫。係統所配有的三路質量流量計,精度高可靠性強,可以準確混合1~3路氣體,操作麵板采用數字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯係技術人員定製任意數量的氣路。

適用於高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

技術參數:

產品型號

CY-T1500-60IT

爐管材質

高純氧化鋁

爐管直徑

60mm(可選配50mm80mm100mm

爐管長度

1000mm

爐膛長度

400mm

加熱區長

300mm

恒溫區長

150mm

工作溫度

1450

控溫精度

±1

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD

密封方式

304不鏽鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

產品型號

CY-3Z

氣體通道

3通道

測量部件

氣體質量流量計

測量量程

A通道:0100SCCM    H2

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。

B通道:0300SCCM    N2

C通道:0500SCCM    Ar

測量精度

±1.0%F.S

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50300KPa

連接管道

304不鏽鋼

控製閥門

304不鏽鋼針閥

接口規格

進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

供電電源

AC:220V 50/60Hz

機械泵

旋片泵

抽氣速率

1.1L/S

排氣接口

KF16

真空測量

電阻規

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

抽氣接口

KF16


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