產品詳情
  • 產品名稱:RTP快速退火爐

  • 產品型號:CY-O1000-120I-T-RTP
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
RTP快速退火爐是我公司自主研發的功能強大的加熱設備。RTP快速退火爐采用進口紅外加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現快速升降溫。
詳情介紹:

        RTP快速退火爐是我公司自主研發的功能強大的加熱設備。RTP快速退火爐采用進口紅外加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現快速升降溫。爐管內尺寸120mm,可以直接放下4英寸的材料,試樣反應區處在一個密閉的石英腔體內,在完成生產工藝的同時也大大降低了間接汙染試樣的可能性。設備配備LCD高清觸摸屏,設定數據實驗操作均為圖文界麵,操作方便快捷易上手,能夠大大提高您的實驗效率。設備預留了真空和氣路的快速接口,可以選購发彩网的真空係統和混氣係統一起使用。

RTP快速退火爐應用領域:

  快速退火爐設備,可用於快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、矽化、擴散、化合物半導體退火、離子注入後退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點分析、薄膜沉積等。

RTP快速退火爐技術參數:

產品型號

CY-O1000-120I-T-RTP

爐管材質

高純石英

爐管直徑

120mm

爐管長度

500mm

爐膛長度

440mm

加熱區長

400mm

恒溫區長

200mm

工作溫度

0500

升溫速度

推薦80/s,快升溫速度200/s

降溫速度

200以上≤25min

控溫精度

±1

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD觸摸屏

密封方式

304不鏽鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭(Ø8寶塔嘴接頭)

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz





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