產品詳情
  • 產品名稱:單靶磁控濺射鍍膜儀(小型)

  • 產品型號:CY-MSP180G-DC
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
小型單靶磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發的一款高性價比磁控濺射鍍膜設備,具有小型化、標準化的特點。磁控靶有1英寸、2英寸可以選擇,客戶可以根據所鍍基板的大小自主選擇
詳情介紹:

小型單靶磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發的一款高性價比磁控濺射鍍膜設備,具有小型化、標準化的特點。磁控靶有1英寸、2英寸可以選擇,客戶可以根據所鍍基板的大小自主選擇;所配電源為150W直流電源,可用於金屬濺射鍍膜。鍍膜儀配有通氣接口,可以通入保護性氣體,若客戶需要通入混合氣體,可以聯係工作人員自行配置高精度質量流量計以滿足實驗需要。儀器標配先進的渦輪分子泵組,極限真空可達1.0E-5Pa,同時另有其他類型的分子泵可供選購。

小型單靶磁控濺射鍍膜儀適用範圍:

該設備可用於製備單層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜等。該單靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,經過小型化設計,高度集成,體積小巧,可以放置於桌麵上使用,是一款實驗室製備材料薄膜的理想設備。 

小型單靶磁控濺射鍍膜儀技術參數:

小型單靶磁控濺射鍍膜儀

樣品台

尺寸

φ138mm

控溫精度

±1

加熱溫度

*高500

轉速

1-20rpm可調

磁控濺射頭

數量

2” x1 1”,2”可選)

水冷機規格

10L/min流速的循環水冷機

冷卻方式

水冷

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm × 215mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋拆卸式

真空係統

產品型號

CY-GZK103-A

抽氣接口

KF40

分子泵

CY-600

排氣接口

KF16

前極泵

旋片泵

真空測量

複合真空計

極限真空

1.0E-5Pa

供電電源

AC;220V 50/60Hz

抽氣速率

分子泵:600L/S  旋片泵:1.1L/S  綜合抽氣性能:20分鍾真空度可達: 1.0E-3Pa

電源配置

數量

直流電源 ×1

*大輸出功率

150W

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機尺寸

500mm × 350mm × 400mm

整機功率

1.7KW(真空泵組1.5KW+本機0.2KW)

整機重量

30kg