產品詳情
  • 產品名稱:三靶等離子濺射鍍膜儀

  • 產品型號:CY-PSP180G-3TA
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
三靶等離子濺射鍍膜儀是我公司自主研發的一款高性價比等離子濺射鍍膜設備,等離子濺射靶為2英寸的標準尺寸,客戶可以根據需要選擇1~3個靶的不同配置,以滿足鍍單層膜或者多種材料多層膜的不同實驗需求。儀器所配電源為150W直流高壓電源,可用於金屬濺射鍍膜,尤其適合金銀銅等貴金屬的鍍膜。鍍膜儀配有通氣接口,可以通入保護性氣體。儀器采用觸摸屏控製,簡單直觀易於上手,能夠一鍵實現鍍膜啟停、切換靶位、擋板旋轉等操作,十分適合實驗室選購。
詳情介紹:

三靶等離子濺射鍍膜儀是我公司自主研發的一款高性價比等離子濺射鍍膜設備,等離子濺射靶為2英寸的標準尺寸,客戶可以根據需要選擇1~3個靶的不同配置,以滿足鍍單層膜或者多種材料多層膜的不同實驗需求。儀器所配電源為150W直流高壓電源,可用於金屬濺射鍍膜,尤其適合金銀銅等貴金屬的鍍膜。鍍膜儀配有通氣接口,可以通入保護性氣體。儀器采用觸摸屏控製,簡單直觀易於上手,能夠一鍵實現鍍膜啟停、切換靶位、擋板旋轉等操作,十分適合實驗室選購。

本鍍膜儀標配為雙極旋片真空泵,其具有體積小,抽真空快,操作簡單的優勢,若客戶有進一步提升真空度的需要,可以聯係技術人員選配分子泵組組成高真空係統。

三靶等離子濺射鍍膜儀適用範圍:

       可用於金屬濺射鍍膜,尤其適合金銀銅等金屬的鍍膜。

三靶等離子濺射鍍膜儀技術參數:

三靶等離子濺射鍍膜儀

樣品台

尺寸

φ138mm

控溫精度

±1

加熱溫度

*高500

轉速

1-20rpm可調

直流濺射頭

數量

2"×1 1~3個靶可選)

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm × 150mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋上翻式

真空係統

機械泵

旋片泵

抽氣接口

KF16

真空測量

電阻規

排氣接口

KF16

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

旋片泵:1.1L/S

電源配置

數量

直流電源 x1

*大輸出功率

150W

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機尺寸

360mm × 300mm × 470mm

整機功率

800W

整機重量

40kg


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