產品詳情
  • 產品名稱:小型高真空二合一鍍膜儀

  • 產品型號:
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
等離子濺射和蒸發二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發組件,不但可以用於等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。
詳情介紹:

等離子濺射和蒸發二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發組件,不但可以用於等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。為了提高鍍膜質量,本台二合一鍍膜儀采用的不鏽鋼真空腔體配合精密分子泵的高真空設計,較高的真空度能夠有效的提升鍍膜純淨度和均勻度,有利於得到更好的實驗效果。樣品台有旋轉和加熱功能,能夠提高薄膜的附著力和成膜的均勻度。本儀器體積小,節省空間,能夠置於試驗台上使用,非常適合各大高校及研究機構選用。

小型高真空二合一鍍膜儀適用範圍:

掃描電鏡樣品表麵噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導體材料試驗電極的製作等。

小型高真空二合一鍍膜儀技術參數:

小型高真空二合一鍍膜儀

樣品台

尺寸

φ138mm

控溫精度

±1

加熱溫度

*高500

轉速

1-20rpm可調

直流濺射頭

數量

2”×1

蒸發係統

蒸發源

鎢絲籃

*高溫度

1700

熱電偶

S型熱電偶

真空腔體

腔體尺寸

φ170mm×200mm

觀察窗口

石英觀察窗 φ70

腔體材料

不鏽鋼

開啟方式

上開啟式

真空係統

產品型號

CY-GZK103-A

抽氣接口

KF40

分子泵

CY-600

排氣接口

KF16

前極泵

旋片泵

真空測量

複合真空計

極限真空

1.0E-5Pa

抽氣速率

分子泵:600L/S  旋片泵:1.1L/S  綜合抽氣性能:20分鍾真空度可達: 1.0E-3Pa

濺射電源配置

數量

直流電源×1

Max 輸出功率

150w

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機尺寸

600mm×300mm×470mm

整機功率

1.5kw

整機重量

40kg


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