產品詳情
  • 產品名稱:小型二合一鍍膜儀

  • 產品型號:CY-EVS180G-LV
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
等離子濺射和蒸發二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發組件,不但可以用於等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。
詳情介紹:

等離子濺射和蒸發二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發組件,不但可以用於等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。儀器元件高度集成化,在同一個腔體內即實現了兩種鍍膜功能;本鍍膜儀采用高純石英腔體作真空腔體,鍍膜過程完全可見。儀器標配雙極旋片真空泵,能夠快速達到1.0E-1Pa的真空度,可滿足大多數蒸發鍍膜實驗和二極濺射實驗所需的真空環境。本儀器體積小,節省空間,能夠置於試驗台上使用,一機多用,性價比突出,非常適合各大高校及研究機構選用。

小型二合一鍍膜儀適用範圍:

掃描電鏡樣品表麵噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導體材料試驗電極的製作等。

小型二合一鍍膜儀技術參數:

小型二合一鍍膜儀

樣品台

尺寸

φ80mm

至蒸發源間距

20mm~50mm可調

直流濺射頭

數量

2”×1

蒸發係統

蒸發源

鎢絲籃

*高溫度

1700

熱電偶

S型熱電偶

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm×150mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋拆卸式

真空係統

機械泵

旋片泵

抽氣接口

KF16

真空測量

電阻規

排氣接口

KF16

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC;220V 50/60Hz

抽氣速率

旋片泵:1.1L/S

濺射電源配置

數量

直流電源×1

*大輸出功率

150w

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機尺寸

360mm×300mm×470mm

整機功率

1.5kw

整機重量

20kg


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