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應用範圍:
用於集熱管、節能燈排氣台、半導體設備、加速器技術、等離子體技術、電真空器件的製造及真空技術各領域
技術特點:
可獲得無油的清潔高真空、 結構緊湊,便於使用、 電控係統,操作靈活
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