產品詳情
  • 產品名稱:三溫區1600 CVD係統

  • 產品型號:CY-O1600-80-3ZV10
  • 產品廠商:发彩网科儀
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簡單介紹:
該三溫區1600 CVD係統主要用於真空燒結、氣氛保護性燒結、真空鍍膜 各種材料煆燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗
詳情介紹:
一、三溫區1600 CVD係統產品特點:
造型優美 做工精細
測溫精準 控溫穩定
超高溫加熱元件 工作溫度可高達1650℃
產品豐富 有多種型號供您選擇

二、詳細參數
加熱溫度 三溫區 獨立控溫 密封方式 水冷式真空法蘭
溫區長度 L:190mm;M:250mm;R:190mm; 真空係統 防返油式雙極旋片泵
工作溫度 L:1300℃;M:1600℃;R:1300℃; 係統真空 5~10Pa(如需更高真空度可選配其它泵)
加熱爐管 高純剛玉外徑60mm,長度1300mm 製冷方式 9L水冷機
氣體通道 三通道質量流量計 控溫係統 多段可編程智能控溫,控溫精度±1℃
氣體量程 A:100SCCM;B:300SCCM;C:500SCCM 供電電源 AC:220V 50Hz
真空檢測 進口數字真空計  備    注 如有其它要求 可按要求定製